Поиск по стандартам

Список оборудования

Производитель

Linn High Therm, Германия

Продукты

Стандарты

распечатать  

Системы для выращивания монокристаллов полупроводников

Система для выращивания монокристаллов карбида кремния Linn

Система для выращивания монокристаллов карбида кремния Linn

Полупроводниковая промышленность сейчас, как никогда, нуждается в высокочистых кристаллах полупроводников. В случае карбида кремния, получение монокристаллов сопряжено с многочисленными трудностями. Высочайшая температура плавления и невозможность получения кристаллов из расплава привело к развитию сублимационного метода его получения. Данный метод требует надежного поддержания температуры выше 2000ОС в течение нескольких недель. Фирма Linn High Therm успешно справилась со всеми трудностями проектировки и создала специальную систему для выращивания монокристаллов карбида кремния для полупроводниковой промышленности сублимационным методом.

Диаметр трубки 2-4 дюйма. Точный контроль условий роста кристаллов (давления и состава газов, распределения и точности поддержки температуры в камере). Максимальная рабочая температура – 2300ОС.

 

 

32-зонная печь для производства монокристаллов полупроводников

Вертикальная градиентная печь (32 зоны) для выращивания кристаллов полупроводников (GaAs, InP) является еще одним показателем возможностей фирмы Linn High Therm в создании индивидуальных проектов и специальных печей под заказ.

Система для индукционной зонной плавки германия

 Горизонтальная система зонной плавки для производства Такой традиционный продукт, как система зонной плавки, в первую очередь для очистки германия от примесей, был модернизирован фирмой Linn High Therm  при помощи индукционного метода нагрева. Это позволило выпустить Горизонтальную систему зонной плавки для производства высокочистых полупроводников. Индукционный нагрев до 1000ОС. 6 кварцевых трубок с диаметром 100 мм и длиной 700 мм. Энергопотребление – 40 кВт.

Лабораторное оборудование